실리콘 웨이퍼 이물 검사

실리콘 웨이퍼에 패터닝 된 회로의 이상 및 이물질 검사의 정확도를 높이기 위한 제품은 VS-THV-SWIR시리즈입니다.

VS-THV-SWIR 시리즈 적용 사례

도입전 과제

- 분해능을 높여 검사 정확도를 높이는 것이 목표.

- 촬영 영역을 확대해 생산 속도를 높이는 것이 목표.

VS-THV-SWIR 평가와 선정 이유

- 최신 고해상도 센서와 호환 가능하며 분해능을 개선함.

- SWIR의 높은 투과율로 생산 속도 향상.

VS-THV-SWIR 시리즈 요약(이미지 클릭시 제품페이지로 이동)

- 1000~1600nm의 투과율

- 근적외선까지 대응 가능한 설계

- 1.1" & 1" 센서 대응

- 1.0x, 1.5x, 2.0x, 3.0x, 4.0x 총 5종의 라인업

- 전 제품 가변 조리개 대응 가능

- 전 제품 동축 조명 대응 가능